大夏最開始研究光刻機(jī)，是在七十年代就已經(jīng)開始了，最初是讓南金大學(xué)的1445研究所進(jìn)行研究。

七十年代的時候，大夏就已經(jīng)意識到了光刻機(jī)的重要性，并且快速開始研究光刻機(jī)，1982年科學(xué)院109廠的KHA-75-1光刻機(jī)，這些光刻機(jī)在當(dāng)時的水平均不低，最保守估計(jì)跟當(dāng)時最先進(jìn)的canon相比最多也就不到4年。

1985年，機(jī)電部45所研制出了分步光刻機(jī)樣機(jī)，通過電子部技術(shù)鑒定，認(rèn)為達(dá)到米國4800DSW的水平，這應(yīng)當(dāng)是大夏第一臺分步投影式光刻機(jī)，采用的是436納米G線光源。按照這個時間節(jié)點(diǎn)算，大夏在分步光刻機(jī)上與國外的差距不超過7年。