有幾個最關鍵的部分，是大多數(shù)國家無法造出光刻機的原因。

比如光源。

光刻機要求發(fā)出的光源，必須足夠‘純凈’和‘穩(wěn)定’。

也就是說，光源必須發(fā)出能量且穩(wěn)定。

并且，光譜必須是很窄很窄的紫光，這樣才能保證加工精度和精度的穩(wěn)定性。

還有一個難點，就是測量臺和曝光臺的移動控制。

因為兩個部件是聯(lián)動的，所以二者的移動同步性和精確性要求十分高，要達到納米的精度。